英國(guó)雷尼紹（美國(guó)RLS）光柵系列優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品介紹-上海維特銳實(shí)業(yè)發(fā)展有限公司

QUANTiC光柵系統(tǒng)擁有多種*設(shè)計(jì)特性，因此具備*的防塵抗污能力。QUANTiC讀數(shù)頭集成有雷尼紹成熟的光學(xué)濾波系統(tǒng)，可對(duì)多個(gè)柵尺周期的讀數(shù)進(jìn)行平均，有效濾除臟污等引起的非周期性特征。借助一系列電子信號(hào)處理算法，例如自動(dòng)增益控制 (AGC)、自動(dòng)偏置控制 (AOC) 和自動(dòng)平衡控制 (ABC) 等，可進(jìn)一步增強(qiáng)測(cè)量信號(hào)的精度。QUANTiC光柵還通過(guò)新的檢測(cè)器設(shè)計(jì)具備了第三層的信號(hào)濾波功能，這有助于更好地消除因柵尺污染產(chǎn)生的非諧波信號(hào)頻率。所有這些信號(hào)調(diào)節(jié)功能組合在一起，確保了QUANTiC能夠?qū)崿F(xiàn)極低的電子細(xì)分誤差 (SDE)，并且減少了因污染導(dǎo)致的信號(hào)波動(dòng)。

工作原理

QUANTiC光柵采用雷尼紹第三代*光學(xué)濾波系統(tǒng)，可對(duì)多個(gè)光柵周期進(jìn)行平均，有效濾除臟污等引起的非周期性特征。名義方波光柵條紋也被濾去，以在探測(cè)器上留下一個(gè)完美的正弦波形。這里使用的是一個(gè)多條紋結(jié)構(gòu)，它非常細(xì)，能夠產(chǎn)生4個(gè)對(duì)稱相位信號(hào)形式的光電流。這些結(jié)合在一起可免去DC器件，并可產(chǎn)生具有高光譜純度和低偏置值的正弦和余弦輸出，同時(shí)保持500 kHz以上的帶寬。

包括自動(dòng)增益控制、自動(dòng)平衡控制和自動(dòng)偏置控制在內(nèi)的*集成高級(jí)動(dòng)態(tài)信號(hào)調(diào)節(jié)功能組合在一起，確保實(shí)現(xiàn)極低的電子細(xì)分誤差 (SDE)（對(duì)于小型圓光柵系統(tǒng)，通常 <±80 nm，對(duì)于大型圓光柵系統(tǒng)，通常 <±150 nm，對(duì)于直線光柵系統(tǒng)，通常 <±80 nm）。

光學(xué)濾波系統(tǒng)的這一改進(jìn)加上精心設(shè)計(jì)的優(yōu)質(zhì)電子器件，大帶寬增量信號(hào)使得圓光柵系統(tǒng)可達(dá)到8,800 rpm的大轉(zhuǎn)速，直線光柵系統(tǒng)可達(dá)到24 m/s的大速度，同時(shí)也是同類光柵中位置抖動(dòng)（噪聲）小的。讀數(shù)頭內(nèi)置細(xì)分功能，同時(shí)利用其他抗噪電子器件進(jìn)一步增強(qiáng)高分辨率型的抗噪功能，從而將抖動(dòng)水平降低至2.73 nm RMS。

抗污能力強(qiáng)

激光尺

背景

自1994年推出款HS10長(zhǎng)距離激光尺系統(tǒng)（測(cè)量范圍長(zhǎng)可達(dá)60 m）以來(lái)，雷尼紹不斷為業(yè)界提供各種激光反饋解決方案。這些解決方案廣泛應(yīng)用于航空航天、船舶工業(yè)和其他專業(yè)應(yīng)用場(chǎng)合的大型機(jī)床。2012年，HS10被HS20長(zhǎng)距離激光尺取代。HS20具有向后兼容性，它擁有重新設(shè)計(jì)的光學(xué)系統(tǒng)和電子元件，因此更加耐用，性能也更加*。

RLE激光尺系列于2001年推出，可提供短距離位置反饋功能（長(zhǎng)4 m）。RLE使用擁有的創(chuàng)新“遠(yuǎn)程”激光源和光纖連接的激光發(fā)射頭，因此可提高測(cè)量精度，節(jié)省安裝空間，并簡(jiǎn)化安裝和設(shè)定過(guò)程。該系統(tǒng)具有多種配置，可適合不同的光學(xué)結(jié)構(gòu)和應(yīng)用。

RLE系統(tǒng)已被眾多半導(dǎo)體加工機(jī)械制造商使用，同時(shí)也應(yīng)用于其他各種短距離測(cè)量。在以前無(wú)法實(shí)現(xiàn)的測(cè)量應(yīng)用中，RLE的特性和功能體現(xiàn)了干涉測(cè)量的優(yōu)勢(shì)。

RLE和HS20系統(tǒng)均包含一系列附件，例如環(huán)境補(bǔ)償系統(tǒng)、光學(xué)和信號(hào)接口等，以滿足各種測(cè)量應(yīng)用的要求。

激光尺跟光柵尺區(qū)別

非接觸式測(cè)量安裝便捷

其他技術(shù)依賴于物理標(biāo)尺 — 它不可避免地會(huì)產(chǎn)生磨損。非接觸式激光干涉儀測(cè)量方法可消除系統(tǒng)的機(jī)械性損傷。

關(guān)注點(diǎn)測(cè)量

由于安裝方面的限制，大多數(shù)直線光柵通常“深藏”在定位平臺(tái)內(nèi)部，與工件相隔一定距離，而這可能會(huì)引入額外誤差源（稱為Abbe誤差）。激光干涉儀沒(méi)有物理標(biāo)尺，可自由安裝以直接測(cè)量關(guān)注點(diǎn)的位移。激光尺可以使用于真空環(huán)境

磁編碼器

工業(yè)自動(dòng)化及裝配系統(tǒng)

金屬加工

石材切割、鋸切

紡織品

塑料加工，

木材加工

包裝

電子芯片/電路板生產(chǎn)

增量式磁旋轉(zhuǎn)編碼器

式磁旋轉(zhuǎn)編碼器

增量式直線磁柵